三坐标测量仪的测量方式根据所需测量产品特性通常可分为接触式测量、非接触式测量和接触与非接触复合式测量，目前三坐标测量机已经广泛应用于汽车、航天工业、模具及机加工领域并在学校科研单位也得到了广泛使用对提升国内产品总体竞争力取到不可忽视的作用。三坐标测量仪的测量方法分为：
1、接触式探针测量三坐标测量仪（最常用使用最普遍）；
2、影像复合式三坐标测量仪；
3、激光复合式三坐标测量仪（主要应用于产品测量与逆向抄数扫描）；
    其中，接触测量方式常用于机加工产品、压制成型产品、金属膜等的测量。为了分析工件加工数据，或为逆向工程提供工件原始信息，经常需要用三坐标测量机对被测工件表面进行数据点扫描。三坐标测量机的扫描操作是应用DMIS程序在被测物体表面的特定区域内进行数据点采集，该区域可以是一条线、一个面片、零件的一个截面、零件的曲线或距边缘一定距离的周线等。将被测物体置于三坐标测量空间，可获得被测物体上各测点的坐标位置，根据这些点的空间坐标值，经计算求出被测物体的几何尺寸，形状和位置。基本原理就是通过探测传感器（探头）与测量空间轴线运动的配合，对被测几何元素进行离散的空间点位置的获取，然后通过一定的数学计算，完成对所测得点（点群）的分析拟合，最终还原出被测的几何元素，并在此基础上计算其与理论值（名义值）之间的偏差，从而完成对被测零件的检验工作.三坐标测量机的组成：1、主机机械系统（X、Y、Z三轴或其它）；2、测头系统；3、电气控制硬件系统；4、数据处理软件系统（测量软件）；5、正向工程：产品设计--制造--检验（三坐标测量机）6、逆向工程：早期：美工设计--手工模型（1：1）--3轴靠模铣床当今：工件（模型）--维测量（三坐标测量机）--设计--制造7、逆向工程定义：将实物转变为CAD模型相关的数字化技术，几何模型重建技术和产品制造技术的总称。广义逆向工程：包括几何逆向，工艺逆向，材料逆向，管理逆向等诸多方面的系统工程。8、逆向工程设备：8.1、测量机：获得产品三维数字化数据（点云/特征）；8.2、曲面/实体反求软件：对测量数据进行处理，实现曲面重构，甚至实体重构；8.3、CAD/CAE/CAM软件。8.4、数控机床；9、逆向工程中的技术难点：9.1、获得产品的数字化点云（测量扫描系统）；9.2、将点云数据构建成曲面及边界，甚至是实体（逆向工程软件）；9.3、与CAD/CAE/CAM系统的集成。
三坐标测量仪操作：
1、量测前准备：
（a）检查空气轴承压力是否足够
（b）安装工件
2、测头选择及安装：
（a）将适当之测头装于Z轴承接器
（b）检视Z轴是否会自动滑落（否则应调整红色压力平衡调整阀）
（c）锁定各轴之适当位置
3、量测操作：
（a）开启处理机电源
（b）启开打印机开关
（c）参考操作手册，选择所需功能之指令
（d）进行量测，并读出量测值
4、完成后注意事项：
（a）Z轴移至原来位置后，锁定
（b）X,Y轴各移至中央，锁定
（c）关电源及压力阀
（d）取下测头
（e）并作适当的保养