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JT-PRB白光干涉三维形貌仪

应用领域:
PRB系列白光干涉三维形貌仪是采用国外最先进的白光干涉扫描技术研制的纳米量级形貌测量仪器,透过精密的扫描系统和自主专利的解析算法,进行样品表面微细形貌的量测与分析。表面显微成像能力与高精度测量的完美结合,只需数秒钟,就能观测到表面的三维轮廓、台阶高度、表面纹理、微观尺寸以及包含各类参数的测量结果。

产品简介】     

  JT-PRB系列白光干涉三维形貌仪是采用国外最先进的白光干涉扫描技术研制的纳米量级形貌测量仪器,透过精密的扫描系统和自主专利的解析算法,进行样品表面微细形貌的量测与分析。表面显微成像能力与高精度测量的完美结合,只需数秒钟,就能观测到表面的三维轮廓、台阶高度、表面纹理、微观尺寸以及包含各类参数的测量结果。

  系统采用气浮式隔振模块、坚固的花岗岩和钢结构支撑,具有出色的稳定性。测量过程简便而快速,只需把被测物体放置到载物台,聚焦出干涉条纹,按下测量按钮即可开始整个测量过程。

  标准配置采用六轴手动调整的载物平台,可依据不同测试要求做弹性调整,并可选配电动载物平台,以实现自动定位、自动聚焦、自动缝合之大面积高精度的量测要求,样品均不需前处理即可进行非破坏、高精度、快速的表面形貌测量和分析。   


     



 


【系统构成】

☆ 光学照明系统 采用卤素光源、中心波长为576nm、光谱范围340nm—780nm

☆ 光学成像系统 采用无限远光学成像系统、由显微物镜和成像目镜组成 

☆ 垂直扫描系统 采用闭环反馈控制方式驱动显微物镜垂直移动、移动范围0-500μm、位置移动精度 0.1nm

☆ 信号处理系统 计算机和数字信号协处理器组成、采集系列原始图像数据使用专用数字信号协处理器完成数据解析

 

【工作原理】

白光干涉三维形貌仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分成两束光,分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光,并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉,在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差,根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条文出现的位置解析出被测样品的相对高度。   

        

 

 

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