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气浮式大行程影像测量仪

应用领域:
气浮式系列大行程全自动影像测量仪主要应用在PCB线路板、覆铜板、平板玻璃、液晶模组、刀模、绝缘材料等行业。

仪器特点:
 

    该系列气浮式大行程影像测量仪采用龙门式结构(桥架式)运行性能稳定,且机构稳定不变形。X、Y、Z三轴均采用伺服电机、全采用双重闭环运动控制、可保证电机在中、高速动动时的稳定性,和准确的定位功能,影像Z轴可自动对焦、配合自动变焦镜头,可实现自动变焦而不需倍率校正。

影像测量仪效果图
 气浮型影像测量仪  VMS-5030  VMS-6040


 金属台面尺寸(mm)  760×640  730×530
 玻璃台面尺寸(mm)  550×350  650×450
 运动行程(mm)  500×300  600×400
 Z轴升降行程  200mm
 工作距离  92mm
 X、Y、Z数显解析度  1μm
 X、Y坐标示值误差  ≤(3+L/200)μm
 影像系统
 摄影机:  日本原装彩色1/2″CCD摄像机 
 变焦物镜倍率:  0.7~4.5X 或自动变焦镜头
 视频总倍率:  30X~190X
 物方视场:  10.6~1.6mm 表面光源与透射光源均用LED,48组可编程。
 测量系统  QuickMeasuring测量软件