一、工具显微镜概述：

    工具显微镜属于显微镜的一种,具有显微镜的放大的性质,都有目镜、物镜这样的成像装置。与普通显微镜不同的是，工具显微镜是主要用来测量计量方面的一类显微镜，其移动工作台精度很高，能准确地测量产品的尺寸。

二、工具显微镜应用范围：

1、测量齿轮滚刀的导程、齿形和牙型角；
2、测量电路板、钻模或孔板上的孔的位置，键槽的对称度等形位误差；
3、测量各种成型零件如样板、样板车刀、样板铣刀、冲模和凸轮的形状；
4、测量外螺纹(螺纹塞规、丝杆和蜗杆等)的中径、小径、螺距、牙型半角；　　
5、坐标测量；
6、角度测量；
7、孔径测量；
8、高度测量。

三、工具显微镜的升级换代

   工具显微镜是应用计算机辅助测量的新一代工具显微镜，能解决各种复杂的二维测量问题。工具显微镜可以测量零件的长度、角度、螺纹等诸多几何量参数，是长度计量检测中使用最多的一种测试仪器，因此广泛应用于机械加工业的各类企业。但随着现代工业的发展以及科技的进步，传统的老式万工显已难以满足要求，因此很有必要对其进行技术改造。

1、数显系统的改型
2、数显系统的安装
3、数显系统的调试
4、数显系统的检测

四、工具显微镜的检测规程

   根据工具显微镜检测规程中的相关规定，需要检测读数装置的示值误差、读数装置的回程误差和示值误差。

1、读数装置的示值误差检测
    对数显系统来说，读数装置的示值误差就是数显表的最小分辨率，即±0.5μm，无须检测。

2、读数装置的示值误差的检测(相当于磁栅尺的重复性)
    光栅尺读数装置就其构造和原理来说是没有回程误差的，当然这需要很高的工艺水平做保证通过用0.1μm的电感测微仪反复测试，光栅尺读数装置的回程误差最大不超过0.5μm

3、示值误差的检测(相当于磁栅尺的准确性)
    用检测极限误差不大于0.5μm的玻璃刻度尺作为标准，按照规程规定的条件方法对纵、横向分别进行检测;若没有玻璃刻度尺，可用工具显微镜原有的刻度尺与光栅尺进行比较检测，并用仪器原有的示值误差进行修正，以确定光栅尺各被检点的实际误差，若有超差再用线性补偿系统进行补偿。